電子級超純水與普通超純水的區(qū)別

應(yīng)用領(lǐng)域

電子行業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)

實(shí)驗(yàn)室分析、工業(yè)生產(chǎn)或工業(yè)清洗

滿足國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T11446.1-2013電子級水國家標(biāo)準(zhǔn)

GBT6682-2008分析實(shí)驗(yàn)室用水國家標(biāo)準(zhǔn)和GBT33087-2016儀器分析用高純水規(guī)格及試驗(yàn)方法

電子級EW-I和超純水I級

電阻率≥18MΩ.cm（5%的時間不低于17）

電阻率≥10MΩ.cm

電子級EW-II和超純水II級

電阻率≥15MΩ.cm（5%的時間不低于13）

電阻率1-10MΩ.cm之間

全硅（ug/L）

電子級I級≤2ppb   電子級I級≤10ppb

I級≤10ppb  II級≤20ppb

微顆粒（個/L）

電子級I級:對各種粒徑具有要求，如?0.2-0.3μm≤50個/L,?0.3-0.5μm≤20個/L，?0.5μm以上≤4個/L

不做具體要求

細(xì)菌個數(shù)（個/ml）

電子級I級≤0.01個  電子級II級≤0.1個

視不同用途，不同的要求，符合客戶需求即可

金屬離子含量（ppb）

電子級I級：對（銅、鋅、鎳、鈉、鉀、鐵、鉛）都有具體的要求，且要求高，需要控制到≤0.1ppb或0.5ppb

超純水I級：只有鈉離子≤1ppb有要求，其他無具體要求

非金屬離子含量（ppb）

電子級I級：對（氟、氯、亞硝酸根、溴、硝酸根、磷酸根、硫酸根）都有具體的要求，需要控制到≤1ppb

超純水I級：僅對氯離子有要求需要控制到≤1ppb

TOC值

電子級I級≤20ppb   電子級I級≤100ppb

超純水I級≤50ppb